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ZJT-601襯底檢測設備
詳細描述
ZJT-601 用于 IC 及 LED 襯底片的質量檢測。用來精密檢測襯底片的平整度、翹曲度以及厚度等指標，并按照用戶設定的數(shù)值進行自動分選的設備。 該設備具有襯底片自動傳輸系統(tǒng)、定位，高精度掃描運動系統(tǒng)，精度檢測系統(tǒng)，數(shù)據(jù)處理以及故障顯示報警等先進功能。 該設備采用不接觸的逐片掃描檢測，并能按照檢測結果將襯底片自動傳輸?shù)蕉x的片盒內，為用戶進行精細化生產(chǎn)提供依據(jù)，從而提高用戶產(chǎn)品的良率、效率和產(chǎn)品一致性，為用戶創(chuàng)造價值。
技術指標
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片子尺寸 |
2inch--6inch |
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特點 |
用戶化設定， 全自動，高精度，高效率。 |
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片盒裝/卸模式 |
手動 |
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測量項目 |
LTV <0.15um(重復性) |
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TTV <0.15um(重復性) |
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Thickness <0.1um(重復性) |
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BOW <0.1um(重復性) |
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warp <0.5um(重復性) |
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C- Thickness <0.15um(重復性) |
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TIR <0.15um(重復性) |
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工作效率 |
>220 片/小時（2 英寸基片，2.5mm 陣列） |
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>220 片/小時（4 英寸基片，5mm 陣列） |
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>180 片/小時（6 英寸基片，10mm 陣列） |
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檢測精度 |
<0.1um |
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檢測方式 |
連續(xù)掃描 |
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片盒數(shù)量 |
5 盒，1 盒供片，4 盒分選(或根據(jù)用戶要求設置) |
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安全模式 |
殘留片處理(檢測艙內.機械臂上.定心臺上) 片盒未裝提示 |
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真空錯誤 |
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運行過程位置、時序錯誤 |
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手動緊急停止、暫停 |
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鎖屏功能 報警 |
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記錄查詢 |
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操作方式： |
操作員、工程師、管理員 |
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最小步距 |
<0.05mm |
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檢測傳感器 |
德國 PRECITEC 公司光學傳感器檢測（長壽命 LED 光源） |
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邊緣要求 |
非接觸 |
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校準 |
自動校準 |
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數(shù)據(jù)查詢 |
按批次、按日期查詢每個襯底片對應的數(shù)據(jù)圖 |
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每個襯底片的數(shù)據(jù)導出 excel 格式 |
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