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TEL CLEAN TRACK ACT8
詳細描述
功能及適用范圍
適用于150到200mm的各種材料的工藝處理I線，248納米，和193納米的工藝能力
全自動的勻膠、顯影功能，層疊架構(gòu)
多層熱處理模塊，結(jié)構(gòu)緊湊，高產(chǎn)能、高可靠性
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